滑閥式油封機械泵(簡稱滑閥泵)同旋片泵一樣,也是一種變容式氣體傳輸泵。其和范圍和使用條件與旋片泵基本相同。 滑閥泵由于其結構特點,容量比旋片泵大得多,因此常常被用在大型真空設備上。滑閥泵有單級和雙級兩種型式。單級泵的極限壓力對小泵≤0.6Pa,對大泵≤1.3Pa(均關氣鎮),雙級泵的極限壓力≤0.06Pa(關氣鎮)。抽速大于150L/s的滑閥泵多采用單級型式。 由于滑閥泵的旋轉質量有較大的偏心,如果滑很好的質量平衡,在運轉時會產生較大的振動。但泵旋轉質心的運動軌跡是形狀復雜的封閉曲線,因此很難實現對滑閥泵慣性力的完全平衡。做好滑閥的質量平衡,減少泵的振動一直是滑閥泵需要解決的一個重要課題。 |